1、塵粒最大允許數(每立方米)

2、大或等于0.5微米的粒子數不得超過350000個，大或等于5微米的粒子數不得超過2000個

3、微生物最大允許數

4、浮游菌數不得超過100個每立方米

5、沉隆菌數不得超過3個每培養皿

6、壓差：相同潔凈度等級的潔凈室壓差保持一致，對于不同潔凈等級的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要≥10Pa。萬級無塵車間對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%，夏季潔凈室濕度控制在50-70%。

7、配電：潔凈室(區)的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200~300Lx。

8、噪聲控制

(1)動態測試時，萬級潔凈室內的噪聲級不應超過70分貝A。

(2)靜態測試時，萬級亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A。

另外，無塵車間吊頂內的設備需要高度一定要留足。

最后，除建筑構造需要空間外還應考慮：送風、回風、排煙、電纜橋架、工藝直排、工藝純水、壓縮空氣、事故照明各類設備設施外還應考慮檢修人員的活動和操作空間需要。